SU8020のステージ動作異常は解消(修理完了)しました。 2025/5/9 17:00
SU8020の試料ステージのZ軸の動作が変になっています。
症状:Z軸が逆方向に動く。すなわち、Zを大きくしてレンズから離そうとすると、逆に近づく(試料をレンズにぶつける可能性があります)。
修理を依頼しています。
修理完了まで、Z軸およびT軸(傾斜軸)を動かさないでください。
単に一般的な観察(Z軸8mmのまま)であれば、通常通り観察は可能です。
EDS測定(z:15mm)は使用しないでください。どうしても必要な場合は、高島が立ち会います。
(但し、高島の在室時間内のみになります)