メンテナンス
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XPS：5/9調整⇒終了
調整は終了しました。検出器のレンズ電源等を改善しています。傾斜時の位置ずれや絞りの効果が改善されています。 試料傾斜測定時に不具合と思われる症状がみられたため、下記日程でメーカーに調整してもらいます。…
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SEM REgulus8220の定期点検整備（6/2）
6/2は、Regulus8220付属のBruker 社製EDSの保守点検を実施します。当日は１７時ごろまで利用できませんので宜しくお願いします。 5/12，5/13：下記の日程でRegulus8220…