下記の日程でRegulus8220とカーボン蒸着装置の定期点検・整備を実施します。
SU8020は影響ありません（利用可能です）。
期間中は同装置を使用できませんので、ご承知おきください。
本件のお問い合わせはXPS担当者（高島）まで。

5/12（月）9:00～5/13（火）17:00