カーボン蒸着装置クリーニング

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SEMの導電膜成膜装置として簡易カーボンコーター(奥の小部屋)を開放していますが、
最近、クリーニング時に使用いただいているピカール(金属研磨剤)の
使用量過多と使用後の拭き取り不良が散見されています。
そこで、当面、クリーニング時のピカールの使用を停止(禁止)させていただきます。
アルコールのみでクリーニングしてください。
汚れが落ちない場合は、担当者(高島)にお声をおかけください。

宜しくお願いします。