XPS装置更新(11/10)

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精密分析室ご利用の研究室教員の方々
XPSユーザー登録者 各位

XPS装置の更新が正式に決まりました。
現有のアルバックファイ社の
 XPS:ESCA5600、AES:SAM650
の2台を廃棄し、新たにアルバックファイ社のGenesis(詳細は後記)を導入します。

スケジュールですが、以下の予定をアルバックファイ社に提案しています。
(アルバックファイで調整中ですので、変更になる可能性がありますことご承知おきください)

12/4(金) 現行XPSの講習受付終了
12末 AES装置停止
2/5(金) XPS利用停止

2/12(金) XPS装置停止2/17(水) XPS/AES解体
2/18(木) 旧装置搬出、新XPS搬入・据付開始(安全確保のため、他の機器も利用停止)
2/19(金)~3/5(金) 据付調整
3/5(金)~3/9(火) 停電対応(他の機器も停電対応)
3/10(水)~3/12(金) オペトレ(メーカーの操作講習)
3/15(月)納品完了
4月 既存ユーザーへの講習
5月~ 新規ユーザーへの講習開始

本年度の説明会時にお話ししましたとおり、現行装置と新装置ではユニットの配置などが異なるため、データの直接比較ができませんので、ご留意をお願いします。
AES測定は12月まで、です。AESは更新せず、これで終了となります。
また、これに伴い、現行装置の部品・予備品でリユース可能なもののリストを、ファイルで添付しますので、譲渡希望があれば、高島まで早めにご連絡ください。リスト以外でも、容易に取り外しできるものは、譲渡します。基本、現状渡し・指定日時に引取が条件です。こちらでの取り置きは、しません。リスト品以外の本体からの取り外し(外すのに手間のかかるもの)は、今回は日程的にタイトなため、困難です。
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新装置 Genesis概要紹介ウェブページ:アルバック・ファイ株式会社グローバルウェブサイト
(派手な動画が流れます)

自動化が進展します。(試料を高真空中に入れるのも、ロボットが行います)
様々な表面分析手法が同様のオペレーションで測定できます。
X線源はAlモノクロのみで、観察機能(SXI)や微小部を狙ったXPS測定ができるようになります。

導入予定オプション類
  GCIB(Arガスクラスターイオン銃):化学結合を壊さず、スパッタ(表面クリーニング)
  UPS(紫外光電子分光分析):有機物などのバレンスバンド測定
  REELS(反射電子分光):3eV以上のバンドギャップ測定、一部元素の吸収端スペクトル
              Hの検出(感度・定量性は悪い)
  UPSとREELSは観察機能や微小部を狙った測定はできません。

今回、導入しないオプション類
  LEIPS(低エネルギー逆光電子分光)
  AES(走査型オージェ分光)
  HAXPES(硬X線光電子分光法)
  ARアパーチャ(光電子取込角制限絞り)
  試料加熱/冷却、4端子電圧印加、トランスファーベッセル、SPS(Sample positioning sysytem)

試料ホルダーは、
  ほぼ1セットのみのため、
  各研究室には割り当てません。全員で共用します。

解析は、
  専用PCで行います。ソフトの提供はいたしません。
  基本的には従来までのMultiPakです。