故障・修理
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SEM:Regulus8220のSE(L)検出器不調⇒修理完了
原因）SE(L)検出器内部のライトガイド下部で放電が起きていたため。 非常に稀な箇所とのこと。 その部分の放電で、２次電子引き込み電圧10kVが不安定になった。 対応）放電痕を研磨して除去して…
法政大学 精密分析室
学内 分析機器のご利用情報 : NMR TEM SEM XPS AES
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原因）SE(L)検出器内部のライトガイド下部で放電が起きていたため。 非常に稀な箇所とのこと。 その部分の放電で、２次電子引き込み電圧10kVが不安定になった。 対応）放電痕を研磨して除去して…