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走査電子顕微鏡 ＳＵ８０２０
分解能：1.0ｎｍ（15ｋV ＷＤ4ｍｍ）
倍率：20～800,000倍
加速電圧：0.5～30ｋＶ
電子銃：冷陰極電界放出型電子銃
リターディング（加速電圧減速）：最大 -2.5V
試料ステージ：Ｘ移動0-50mm Ｙ移動0-50mm
Ｚ移動1.5-30mm 傾斜-5～70° 回転360°（連続）
試料サイズ最大：直径100mm
反射電子像・STEM像観察：可能
エネルギー分散型X線分析装置 Horiba X-MAX N
国内代理店が堀場製作所からオックスフォード・インストゥルメンツへ移行。
XFlash検出器は液体窒素を必要としない Silicon Drift Detector（SDD）です。
ソフトが扱いやすいので、初心者にはありがたい。
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