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Ｘ線光電子分光装置 ＥＳＣＡ５６００
Ｘ線源：Ａｌーモノクロ、ＡｌＫα、ＭｇＫα
分析面積：約１ｍｍφ
検出できる元素：Ｌｉ～Ｕ（Ｈ、Ｈｅは測定不可）
検出限界濃度：0.1at%程度
得られる情報
定性分析：エネルギー値から元素を特定できる
定量分析：元素間の相対的な存在量を求められる
（精度：～５％程度）
化学状態分析：元素の結合状態の同定ができる
深さ方向分析：元素の深さ方向分布が調べられる（イオンスパッタリングを併用）
X-ray Photoelectron Spectrometer---XPS
Electron Spectroscopy for Chemical Analysis---ESCAとも称される
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