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走査電子顕微鏡 Regulus8220
分解能：0.6nm（15ｋV ＷＤ4ｍｍ）
倍率：20～1,000,000倍
加速電圧：0.5～30ｋＶ
電子銃：冷陰極電界放出型
リターディング（加速電圧減速）：最大 -3.5V
反射電子像・STEM像観察：可能
試料サイズ：直径最大150ｍｍ 移動はX,Y 50mm幅まで
エネルギー分散型X線分析装置 Bruker Quantax
通常型検出器 XFlashR6|10
XFlash検出器は液体窒素を必要としない Silicon Drift Detector（SDD）です。
10 mm2の検出面積で最高121 eV（MnKα）の超高分解能。
検出可能範囲：B（5）-Am（95）
高感度検出器 XFlashR 5060FlatQUAD
極低加速ならびに、極低電流条件下でもEDS分析ができ、電子線照射による試料ダメージの低減、短時間測定が可能。
大電流条件下においても、分解能劣化やデットタイムを気にすることなく、高精度・高効率にてEDS分析を行うこと
ができる。
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