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試料作成装置
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精密イオンポリッシングシステム
GATAN 691 PIPS
ＴＥＭ試料をアルゴンイオン銃により研磨して薄膜を得る装置 |
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精密ディスクグラインダ
GATAN Model623 ＴＥＭ試料をイオンポリッシング装置にセットできる厚さにする。膜厚をミクロンオーダーに正確に薄くする研磨治具
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ディンプルグラインダー
GATAN Model 656 ディスクグラインダーで薄くしたＴＥＭ試料の一部分をさらに薄くする装置
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イオンスパッタ
MC1000
ＳＥＭ試料にイオンスパッタにより、白金をコーティングし導電化処理をする装置
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